清潔度測定方法對過程控制、*和失效分析非常重要。檢測清潔度時一定要保持環境清潔，其清潔程度應與檢測的要求相適應。

清潔度的測定方法很多，這里簡單介紹下顆粒尺寸數量法。

這是一種零件清潔度檢測新方法。其基本原理是根據被檢測的表面與污染物顆粒具有不同的光吸收或散射率。其測定方法是，將零件在一定的條件下清洗，將清洗液通過的濾膜充分過濾，污染物被收集在濾膜表面，然后將濾膜烘干，用顯微鏡（具有圖像識別和分析功能）在光照射下檢測，按顆粒尺寸和數量統計顆粒污染物，即可得到所測物體零件的固體顆粒污染物結果。這是一種適合精密清洗定量化的清潔度檢測方法，尤其適用于檢測微小顆粒和帶色雜質顆粒。

顆粒尺寸數量法極限值：對特定規定的零件，規定一定樣品數量、檢測頻率、清洗介質、清洗參數和操作過程的情況下，將顆粒按尺寸大小統計，每個尺寸范圍分別規定準許的最大顆粒數量，只要有某一項超標，則測試結論為不合格。